一種濕敏晶體管傳感器及其檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810646241.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110632154A 公開（公告）日 2019-12-31
申請公布號 CN110632154A 申請公布日 2019-12-31
分類號 G01N27/414（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王中健; 肖兵; 梁歡; 黃肖艷 申請（專利權(quán)）人 季優(yōu)科技（珠海橫琴）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海宏京知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 季優(yōu)科技（上海）有限公司
地址 201899 上海市嘉定區(qū)菊園新區(qū)環(huán)城路2222號1幢J246室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種濕敏晶體管傳感器及其檢測方法，其中，晶體管傳感器包括高摻硅層和二氧化硅層，所述二氧化硅層設(shè)于所述高摻硅層的上部，所述二氧化硅層的上端設(shè)有二硫化鉬層，所述二氧化硅層上設(shè)有源極和漏極，所述源極與漏極分別位于所述二硫化鉬層的兩相對側(cè)，所述高摻硅層上設(shè)有柵極。本發(fā)明的晶體管傳感器在尺寸上得到了高度的壓縮，利用MoS2獨(dú)特的電子性質(zhì)，起到很好的氣體吸附的性能，對環(huán)境中的水氣具有靈敏度高、穩(wěn)定性好、與傳統(tǒng)的微納加工工藝兼容等優(yōu)點(diǎn)。