燈珠加工用旋轉(zhuǎn)盤式反應(yīng)室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811251763.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109208071A 公開（公告）日 2019-01-15
申請公布號 CN109208071A 申請公布日 2019-01-15
分類號 C30B25/14;C30B25/08 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 文波 申請（專利權(quán)）人 綿陽市伯夏科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 621000 四川省綿陽市經(jīng)開區(qū)三江大道39號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種燈珠加工用旋轉(zhuǎn)盤式反應(yīng)室，包括反應(yīng)室主體，所述反應(yīng)室主體外上端中部固定設(shè)置有進氣管，所述進氣管中央固定設(shè)置有隔流板，所述隔流板延伸至反應(yīng)室主體內(nèi)并且所述隔流板底端固定連接有氣流板，所述反應(yīng)室內(nèi)壁上固定設(shè)置有延伸板，所述水平板與延伸板之間形成水平通道，所述水平通道一端在反應(yīng)室主體內(nèi)上部中央固定設(shè)置有集氣槽，所述集氣槽下端設(shè)有開口。本發(fā)明通過設(shè)置球形反應(yīng)室主體與合適的氣流通道，并在氣流通道上設(shè)置電磁閥，使反應(yīng)氣可以在電磁閥的調(diào)節(jié)下與襯底基片均勻接觸，使反應(yīng)生成的外延片質(zhì)地優(yōu)良，具有更好的生產(chǎn)效果。