燈珠加工用旋轉(zhuǎn)盤(pán)式反應(yīng)室
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811251763.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109208071A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-01-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109208071A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-01-15 |
| 分類號(hào) | C30B25/14;C30B25/08 | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 文波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 綿陽(yáng)市伯夏科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 621000 四川省綿陽(yáng)市經(jīng)開(kāi)區(qū)三江大道39號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種燈珠加工用旋轉(zhuǎn)盤(pán)式反應(yīng)室，包括反應(yīng)室主體，所述反應(yīng)室主體外上端中部固定設(shè)置有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管中央固定設(shè)置有隔流板，所述隔流板延伸至反應(yīng)室主體內(nèi)并且所述隔流板底端固定連接有氣流板，所述反應(yīng)室內(nèi)壁上固定設(shè)置有延伸板，所述水平板與延伸板之間形成水平通道，所述水平通道一端在反應(yīng)室主體內(nèi)上部中央固定設(shè)置有集氣槽，所述集氣槽下端設(shè)有開(kāi)口。本發(fā)明通過(guò)設(shè)置球形反應(yīng)室主體與合適的氣流通道，并在氣流通道上設(shè)置電磁閥，使反應(yīng)氣可以在電磁閥的調(diào)節(jié)下與襯底基片均勻接觸，使反應(yīng)生成的外延片質(zhì)地優(yōu)良，具有更好的生產(chǎn)效果。 |
