一種半導(dǎo)體擴(kuò)散源溫度控制器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110757018.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113515152A 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113515152A 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) G05D23/20 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 潘劍鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 峰湃科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市蘭鋒盛世知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李岱
地址 201800 上海市嘉定區(qū)封周路655號(hào)14幢201室J3393
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體擴(kuò)散技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及了一種半導(dǎo)體擴(kuò)散源溫度控制器，包括半導(dǎo)體擴(kuò)散器、氣泵、導(dǎo)氣管和用熱設(shè)備。該半導(dǎo)體擴(kuò)散源溫度控制器，通過(guò)啟動(dòng)氣泵將外界空氣從進(jìn)氣口導(dǎo)入，啟動(dòng)加熱管，對(duì)擴(kuò)散箱內(nèi)部的空氣進(jìn)行加熱，再將雜質(zhì)從雜質(zhì)源進(jìn)口通入到擴(kuò)散箱內(nèi)部，增加單晶硅的導(dǎo)熱性能，經(jīng)過(guò)加熱后的氣體從排氣管進(jìn)入到導(dǎo)氣管中，通過(guò)用單晶硅替代現(xiàn)有的二氧化硅作為導(dǎo)體介質(zhì)，增加了導(dǎo)熱性能，使半導(dǎo)體擴(kuò)散的產(chǎn)生的延遲降低，避免造成溫度控制器的控制效果不明顯，通過(guò)在導(dǎo)氣管的內(nèi)部安裝有保溫層可以防止進(jìn)入鐵質(zhì)管道內(nèi)部的熱氣體熱量流失，造成熱量損失，隔熱層可以隔絕熱量傳導(dǎo)至導(dǎo)氣管的外壁，使人誤觸導(dǎo)致燙傷。