一種鎢鎳合金靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910955313.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110885963B 公開（公告）日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN110885963B 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) C23C14/08（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;B22F1/00（2022.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/10（2006.01）I;B22F3/15（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;C22C27/04（2006.01）I;C22C19/03（2006.01）I;C03C17/245（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉桂榮;王廣達(dá);弓艷飛;楊林;熊寧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安泰科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京五洲洋和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 榮紅穎;劉春成
地址 301800天津市寶坻區(qū)西環(huán)北路與中關(guān)村大道交口中關(guān)村協(xié)同發(fā)展中心2號(hào)樓202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鎢鎳合金靶材的制備方法和該方法制備的鎢鎳合金靶材。該鎢鎳合金靶材的制備方法包括：原料配制步驟：將鎢粉、鎳粉進(jìn)行混合處理，得到混合粉；壓制成形步驟：將所述混合粉進(jìn)行壓制成形處理，得到預(yù)制坯；燒結(jié)步驟：將所述預(yù)制坯進(jìn)行燒結(jié)處理，得到燒結(jié)坯料；熱等靜壓處理步驟：將所述燒結(jié)坯料進(jìn)行熱等靜壓處理，得到熱等靜壓坯料；熱處理步驟：將所述熱等靜壓坯料進(jìn)行熱處理，之后快速冷卻，得到鎢鎳合金靶材。本發(fā)明采用首先低溫?zé)Y(jié)，然后熱等靜壓工藝進(jìn)行致密化處理，鎢鎳合金靶材的致密度達(dá)到99.8％以上、且各向同性，鎢相平均粒度小于30微米，可廣泛應(yīng)用于玻璃鍍膜方面。