PERC太陽能電池硅片背面的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710122731.7 申請日 -
公開（公告）號 CN106972079B 公開（公告）日 2018-05-18
申請公布號 CN106972079B 申請公布日 2018-05-18
分類號 H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方結(jié)彬;何達能;陳剛 申請（專利權(quán)）人 浙商銀行股份有限公司義烏分行
代理機構(gòu) 廣州知友專利商標代理有限公司 代理人 浙江愛旭太陽能科技有限公司
地址 322000 浙江省金華市義烏市蘇溪鎮(zhèn)蘇福路126號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了PERC太陽能電池硅片背面的清洗方法，該清洗發(fā)生在PERC太陽能電池制備過程中電池硅片沉積正面氮化硅膜之后、沉積背面氧化鋁膜之前，包括依次進行的如下步驟：(1)將硅片放入KOH和H2O2的混合溶液中；(2)將硅片放入去離子水中進行漂洗；(3)將硅片放入KOH溶液中；(4)將硅片放入KOH和H2O2的混合溶液中；(5)將硅片放入去離子水中進行漂洗；(6)將硅片放入HF溶液或者HCL溶液或者HF和HCL的混合溶液中；(7)將硅片放入去離子水中進行漂洗，漂洗完成后將硅片提出水面；(8)對硅片進行烘干。該清洗方法能夠提升電池的光電轉(zhuǎn)換效率。