諧振器、濾波器及制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111365022.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114070258A 公開(kāi)（公告）日 2022-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114070258A 申請(qǐng)公布日 2022-02-18
分類(lèi)號(hào) H03H9/25（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I;H03H3/08（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分類(lèi) 基本電子電路;
發(fā)明人 王礦偉;賴(lài)志國(guó);楊清華 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州漢天下電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京希夷微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳黎
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城東北區(qū)NE-39幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種諧振器、濾波器及制造方法，其中所述諧振器的制造方法包括：形成底電極；在所述底電極上形成壓電層；在所述壓電層上形成至少一個(gè)凹陷部，所述凹陷部的深度與待形成的質(zhì)量負(fù)載層的厚度相同；在所述壓電層上形成上電極，所述上電極填充入所述凹陷部的部分形成所述質(zhì)量負(fù)載層，并使所述上電極的上表面平坦化。