一種體聲波諧振器以及電子器件
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202122369478.X | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN215934829U | 公開(公告)日 | 2022-03-01 |
申請公布號 | CN215934829U | 申請公布日 | 2022-03-01 |
分類號 | H03H9/17(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I | 分類 | 基本電子電路; |
發(fā)明人 | 劉海瑞;賴志國;楊清華 | 申請(專利權(quán))人 | 蘇州漢天下電子有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京元合聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) | 代理人 | 李非非 |
地址 | 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)39幢 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種體聲波諧振器,包括:基底;疊層結(jié)構(gòu),該疊層結(jié)構(gòu)位于基底上,從下至上依次包括下電極、壓電層以及上電極,壓電層包括中間區(qū)域以及周邊區(qū)域,中間區(qū)域的材料是第一壓電材料,周邊區(qū)域的材料是非壓電的介電材料或壓電系數(shù)小于第一壓電材料的第二壓電材料;聲反射結(jié)構(gòu),該聲反射結(jié)構(gòu)位于疊層結(jié)構(gòu)下方,形成在基底中或形成在疊層結(jié)構(gòu)和基底之間;上電極、壓電層以及下電極三者位于聲反射結(jié)構(gòu)上方的重疊區(qū)域構(gòu)成疊層結(jié)構(gòu)的有效區(qū),其中,有效區(qū)在水平方向上的第一投影與壓電層中間區(qū)域在水平方向上的第二投影重合或落入該第二投影內(nèi)。本實(shí)用新型還提供了一種電子器件。實(shí)施本實(shí)用新型可以有效降低器件的橫波損耗。 |
