無外部硬力引入去除散熱蓋方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110480200.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113252427A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113252427A 申請公布日 2021-08-13
分類號 G01N1/32;G01N1/28 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王紹海 申請（專利權）人 蘇試宜特（深圳）檢測技術有限公司
代理機構 上海唯源專利代理有限公司 代理人 季辰玲
地址 518101 廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道興東社區(qū)68區(qū)隆昌路10號美生創(chuàng)谷春谷102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種無外部硬力引入去除散熱蓋方法，包括步驟：提供樣品，該樣品包括基板、固定于該基板上的晶粒以及通過散熱膠蓋設于該晶粒上的金屬散熱蓋；對該樣品進行透射內(nèi)部觀察，找到該晶粒的位置，并根據(jù)該晶粒的位置在該金屬散熱蓋上標記出待蝕刻區(qū)域；于該金屬散熱蓋表面粘貼鋁箔膠帶，并使該鋁箔膠帶完全覆蓋該待蝕刻區(qū)域，于該鋁箔膠帶上對應于該待蝕刻區(qū)域的位置處進行切割并形成開口；向該開口內(nèi)滴入加熱的硝酸，直至腐蝕掉該待蝕刻區(qū)域內(nèi)的金屬散熱蓋；將樣品放入丙酮內(nèi)浸泡，當該散熱膠軟化后，去除剩余金屬散熱蓋和該散熱膠。本發(fā)明方法可避免去除散熱蓋時因外部應力的引入而對晶粒造成的損壞，能夠保持晶粒的原有狀態(tài)。