一種外延用真空吸筆

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310457396.8 申請日 -
公開（公告）號 CN103500726A 公開（公告）日 2014-01-08
申請公布號 CN103500726A 申請公布日 2014-01-08
分類號 H01L21/683(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李超亞 申請（專利權(quán)）人 徐州錫賈工業(yè)園投資發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 徐州支點(diǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉新合
地址 221000 江蘇省徐州市賈汪區(qū)工業(yè)園區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種外延用真空吸筆，包括真空泵（1）和中空手柄（2），還包括叉狀引導(dǎo)頭（5）和壓簧開關(guān)（4）。通過叉引導(dǎo)頭（5），引導(dǎo)吸筆插入，吸取晶圓。降低真空吸筆無引導(dǎo)插入晶圓盒時劃傷晶圓表面的可能。?