一種LED外延片檢測方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210347164.2 申請日 -
公開（公告）號 CN102841281B 公開（公告）日 2015-07-22
申請公布號 CN102841281B 申請公布日 2015-07-22
分類號 G01R31/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 梁秉文;張濤 申請（專利權）人 蘇州納方科技發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 北京華夏博通專利事務所（普通合伙） 代理人 蘇州納方科技發(fā)展有限公司
地址 215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)若水路398號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種LED外延片的檢測方法及裝置。該方法包括：在LED外延片的上、下端面之間施加一交流方波電壓，并且所述交流方波電壓的大小足以驅(qū)動LED外延片發(fā)光。該裝置包括：用于承載LED外延片的導電基底，且所述導電基底與LED外延片下端面接觸；導電探針，其與LED外延片的上端面接觸，以及，用于在所述導電基底與導電探針之間施加一交流方波電壓的交流方波電壓源，所述交流方波電壓的大小足以驅(qū)動LED外延片發(fā)光。本發(fā)明較之現(xiàn)有的探針式電致發(fā)光（EL）測試方法，只需單一探針，無需實施點In等操作，不僅操作簡單，高效快捷，成本低廉，不會污染或損傷LED外延片，而且測試結(jié)果穩(wěn)定準確，能夠?qū)崿F(xiàn)對各種類型LED外延片的在線EL測試，通用性強。