一種半導體石英部件清洗設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111071443.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113522860A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113522860A 申請公布日 2021-10-22
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 王衛(wèi)良;李士昌;劉超平;林保璋;姜永峰 申請（專利權）人 盛吉盛精密制造（紹興）有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體加工設備，公開了一種半導體石英部件清洗設備，包括機架、轉動安裝于機架上且中心帶有升降口的擺放臺、設置于機架上且位于擺放臺一側的外管壁清洗裝置以及升降設置于機架內(nèi)且位于升降口下方的內(nèi)管壁清洗裝置，所述內(nèi)管壁清洗裝置包括升降臺、安裝于升降臺上的頂噴頭和側噴頭，所述頂噴頭的出水方向朝向機架上方，所述側噴頭的出水方向朝向機架側方，且所述側噴頭分布于頂噴頭的兩側；本發(fā)明頂噴出水的沖洗方式能夠讓將石英部件上殘留的臟污隨水流被帶走，從而大大提高石英部件的清洗效果，減少水漬的產(chǎn)生。