一種半導體石英部件可變徑倒角機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111132143.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113560985A 公開（公告）日 2021-10-29
申請公布號 CN113560985A 申請公布日 2021-10-29
分類號 B24B9/06（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王衛(wèi)良;李士昌;劉超平;林保璋;曹飛 申請（專利權）人 盛吉盛精密制造（紹興）有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體制造設備，公開了一種半導體石英部件可變徑倒角機，包括機架、轉動安裝于機架上的旋轉臺，旋轉臺上開設有多個圍繞旋轉臺中心分布且長度沿旋轉臺直徑方向延伸的滑行槽，滑行槽長度方向的延長線相交于旋轉臺的轉動中心，旋轉臺上安裝有倒角塊，倒角塊之間分布于同一個圓上并在滑行槽內沿滑行槽的長度方向移動，且在旋轉臺上設置有用于調節(jié)倒角塊之間相互距離的調節(jié)機構；本發(fā)明可調節(jié)式的倒角塊能夠根據(jù)待加工石英部件的尺寸變化調整相互之間的距離，從而適應不同尺寸石英部件的倒角需求；而聯(lián)動機構能夠實現(xiàn)倒角塊之間的同步進、退，使倒角塊之間不管如何調整位置均位于同一個圓上，從而使得石英部件的倒角更加精準。