一種半導(dǎo)體石英部件可變徑倒角機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111132143.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113560985B 公開(kāi)（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113560985B 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類號(hào) B24B9/06（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王衛(wèi)良;李士昌;劉超平;林保璋;曹飛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 盛吉盛精密制造（紹興）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備，公開(kāi)了一種半導(dǎo)體石英部件可變徑倒角機(jī)，包括機(jī)架、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于機(jī)架上的旋轉(zhuǎn)臺(tái)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上開(kāi)設(shè)有多個(gè)圍繞旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心分布且長(zhǎng)度沿旋轉(zhuǎn)臺(tái)直徑方向延伸的滑行槽，滑行槽長(zhǎng)度方向的延長(zhǎng)線相交于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上安裝有倒角塊，倒角塊之間分布于同一個(gè)圓上并在滑行槽內(nèi)沿滑行槽的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，且在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置有用于調(diào)節(jié)倒角塊之間相互距離的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；本發(fā)明可調(diào)節(jié)式的倒角塊能夠根據(jù)待加工石英部件的尺寸變化調(diào)整相互之間的距離，從而適應(yīng)不同尺寸石英部件的倒角需求；而聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)倒角塊之間的同步進(jìn)、退，使倒角塊之間不管如何調(diào)整位置均位于同一個(gè)圓上，從而使得石英部件的倒角更加精準(zhǔn)。