一種半導(dǎo)體石英部件旋轉(zhuǎn)平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122215473.1 申請日 -
公開(公告)號 CN214488224U 公開(公告)日 2021-10-26
申請公布號 CN214488224U 申請公布日 2021-10-26
分類號 B08B13/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 王衛(wèi)良;李士昌;劉超平;林保璋;姜永峰 申請(專利權(quán))人 盛吉盛精密制造(紹興)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,公開了一種半導(dǎo)體石英部件旋轉(zhuǎn)平臺,包括基臺、轉(zhuǎn)動安裝于基臺上的擺放臺,所述擺放臺上開設(shè)有若干圍繞擺放臺中心分布的滑移槽,各所述滑移槽的長度方向的延長線交匯于擺放臺中心,所述滑移槽內(nèi)安裝有定位塊,且所述基臺上設(shè)置有用于驅(qū)使擺放臺旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機構(gòu);本實用新型旋轉(zhuǎn)式的擺放臺能夠改變了工人圍繞石英部件走動的清洗模式,使得工人在清洗時不容易牽拉供水管對石英部件產(chǎn)生碰撞,從而降低石英部件發(fā)生傾翻可能性的目的,并且可調(diào)節(jié)式的定位塊能夠根據(jù)石英部件高度的不同調(diào)整自身對石英部件的支撐位置,減少定位塊支撐部位與石英部件重心之間的高度差,從而對石英部件形成更好的支撐。