一種半導(dǎo)體擴散設(shè)備的石英部件加工用定位裝夾裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122456478.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214672563U 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN214672563U 申請公布日 2021-11-09
分類號 H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王衛(wèi)良;李士昌;劉超平;林保璋;蔣建新 申請（專利權(quán)）人 盛吉盛精密制造（紹興）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 315100浙江省寧波市云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種半導(dǎo)體擴散設(shè)備的石英部件加工用定位裝夾裝置，包括盤體、開設(shè)于所述盤體上的第一真空吸孔，所述第一真空吸孔用于與抽真空裝置連接；所述第一真空吸孔所在的所述盤體表面凸出設(shè)置有凸環(huán)，所述凸環(huán)與所述盤體形成供工件底部放入的料槽；所述凸環(huán)內(nèi)壁設(shè)置有用于抵緊工件側(cè)表面的抵緊組件。本申請利用抽真空裝置對第一真空吸孔進行抽真空，在第一真空吸孔內(nèi)形成負壓，利用該負壓將半導(dǎo)體石英產(chǎn)品吸附在盤體上，結(jié)構(gòu)簡單，在裝夾半導(dǎo)體石英產(chǎn)品時能夠?qū)α己玫貙ν鈭A面進行加工。