一種系列2,3-二取代丁二酰亞胺鉿或鋯混配配合物及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011639462.X 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112794866B 公開(公告)日 2022-06-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN112794866B 申請(qǐng)公布日 2022-06-03
分類號(hào) C07F7/00(2006.01)I;C07F7/10(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 陶弦;沈應(yīng)中;沈克成 申請(qǐng)(專利權(quán))人 江蘇愛姆歐光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京創(chuàng)略知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 212000江蘇省鎮(zhèn)江市新區(qū)大港青龍山支路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種系列2,3?二取代丁二酰亞胺鉿或鋯混配配合物及其制備方法和應(yīng)用,在惰性氣體的保護(hù)下,將定量的2,3?二取代丁二酰亞胺與二胺鉿或鋯化合物加入無(wú)水溶劑中;加入無(wú)水溶劑后,反應(yīng)一段時(shí)間后,過(guò)濾,將濾液用減壓蒸餾除去溶劑和副產(chǎn)物,得灰白色固體;將得到的灰白色固體,經(jīng)過(guò)重結(jié)晶升華,得到目標(biāo)金屬配合物。本發(fā)明目的是提供一系列對(duì)襯底的污染小、合成方法簡(jiǎn)便,工藝操作簡(jiǎn)單,產(chǎn)率高,成本低的2,3?二取代丁二酰亞胺鉿或鋯混配配合物及其合成方法以及在制備高K材料的應(yīng)用。此系列前驅(qū)體是配體的位阻大而形成單核化合物,具有較好的揮發(fā)性和合適的熱穩(wěn)定性,易于合成,毒性低等特點(diǎn)。