光學(xué)元件多點(diǎn)透射反射率光譜測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120001473.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214374295U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214374295U 申請公布日 2021-10-08
分類號 G01N21/59（2006.01）I;G01N21/55（2014.01）I;G01M11/02（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋光均;羅海濤;蔣之輝 申請（專利權(quán)）人 廣州標(biāo)旗光電科技發(fā)展股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州正明知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成姍
地址 510000廣東省廣州市黃埔區(qū)彩頻路7號701-1房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于光學(xué)檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了光學(xué)元件多點(diǎn)透射反射率光譜測量裝置，該裝置中，光源擺臂與檢測擺臂可以分別進(jìn)行0?360度旋轉(zhuǎn)（也可以同步進(jìn)行），通過調(diào)整光源擺臂的旋轉(zhuǎn)角度來調(diào)整光線與樣品表面的入射角，從而可以進(jìn)行多角度（0?40度）的檢測。通過調(diào)整檢測擺臂的旋轉(zhuǎn)角度來調(diào)整采集模塊接收的光線是透過光線還是反射光線，從而切換不同的檢測功能；樣品臺可以在Z軸方向移動(dòng)，同時(shí)利用水平激光示高模組與樣品臺Z軸位移模塊共同調(diào)整樣品的上表面高度，實(shí)現(xiàn)了樣品高度精確的自動(dòng)定位，整套裝置配套計(jì)算控制模塊，實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)檢測。