一種三維表面非接觸干涉測量儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820021522.3 申請日 -
公開（公告）號 CN207923075U 公開（公告）日 2018-09-28
申請公布號 CN207923075U 申請公布日 2018-09-28
分類號 G01B11/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周峰;譚曉軍;鄺文輝;杜勇剛;鄧崇凱 申請（專利權(quán)）人 廣東普密斯視覺技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 廣東普密斯視覺技術(shù)有限公司
地址 523000 廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)南山路1號中集智谷15號樓01戶1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及光學(xué)制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種三維表面非接觸干涉測量儀，包括激光器、空間濾波器、準(zhǔn)直鏡、第一反射鏡、分光鏡、第二反射鏡、成像鏡頭、CCD相機、第三反射鏡和待測物放置臺，所述激光器、空間濾波器、準(zhǔn)直鏡和第一反射鏡同設(shè)于水平光軸線L1；所述第一反射鏡、分光鏡和待測物放置臺同設(shè)于垂直光軸線L2；所述第二反射鏡、分光鏡和第三反射鏡同設(shè)于水平光軸線L3；所述第二反射鏡、成像鏡頭和CCD相機同設(shè)于垂直光軸線L4。本實用新型組件少，體積小，操作方便。