一種表面檢測裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911251911.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110907468B 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN110907468B 申請公布日 2021-07-30
分類號 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉亮;韓曉榮 申請（專利權(quán)）人 上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201703上海市青浦區(qū)趙巷鎮(zhèn)滬青平公路3398號1幢2層Q區(qū)202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種表面檢測裝置及方法，該表面檢測裝置包括：發(fā)射模塊、掃描模塊、散射光探測模塊和定位模塊；發(fā)射模塊用于發(fā)射檢測光束；掃描模塊用于控制檢測光束沿第一方向移動，以使入射至被測物體表面的檢測光束沿第一方向形成一個單元掃描路徑；散射光探測模塊用于接收檢測光束經(jīng)由被測物體表面散射的散射光束；定位模塊設(shè)置在檢測光束在被測物體表面產(chǎn)生的反射光束的傳播路徑上，用于接收任一單元掃描路徑內(nèi)檢測光束經(jīng)由被測物體表面相應(yīng)單元掃描路徑中參考點的反射光束；其中，參考點為在任一單元掃描路徑中設(shè)定的一個固定位置。本發(fā)明實施例提供的表面檢測裝置實現(xiàn)散射探測信號和掃描位置的同步，提高了檢測精確度。