一種自動對焦裝置和方法、檢測裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110220302.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113038003A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113038003A 申請公布日 2021-06-25
分類號 H04N5/232;H01L21/66 分類 電通信技術;
發(fā)明人 李仲禹;章富平;陳旻峰;江旭初;袁嘉欣;陳椿元 申請（專利權）人 上海精測半導體技術有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201703 上海市青浦區(qū)徐涇鎮(zhèn)雙浜路269、299號1幢1、3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自動對焦裝置和方法、檢測裝置和方法，其中，自動對焦裝置通過控制第一電機、第二電機和第三電機，以控制工件臺的移動，并根據待測物的位置信息調整工件臺的位置，使得待測物處于測焦模塊的焦面處，檢測裝置根據第一導軌在第二導軌上移動的長度，或工件臺在第一導軌上移動的長度，以及自動對焦裝置的對焦情況，控制探測器采集待測物表面的光信號，以及通過重力補償模塊的設置，補償抵消第三電機的部分或者全部重力，使得工件臺在第三方向上運動時，無需再克服第三電機的重力做功，使得工件臺運行到位速度更快，減少對焦時間。