一種探測反射光束角度變化的裝置、方法及膜厚測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110241291.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113155040A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113155040A 申請公布日 2021-07-23
分類號 G01B11/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王奇;李仲禹;王政 申請（專利權(quán)）人 上海精測半導體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 武漢東喻專利代理事務所（普通合伙） 代理人 張英
地址 201702上海市青浦區(qū)徐涇鎮(zhèn)雙浜路269、299號1幢1、3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種探測反射光束角度變化的裝置、方法及膜厚測量裝置，該裝置包括探測光源，用于產(chǎn)生偏振態(tài)的入射光束；至少一光隔離器，用于接受入射光束形成偏振入射光束透射至光束調(diào)整模塊，偏振入射光束平行于第一入射光束；還用于接收經(jīng)光束調(diào)整模塊調(diào)整后反射光束形成偏振反射光束并與入射光束的傳輸方向呈相對分開角度射出；光束調(diào)整模塊，用于調(diào)整偏振入射光束的場強分布并使其射入待測體表面；還用于接收自身視場范圍內(nèi)準直反射光束并進一步調(diào)整反射光束場強分布使其射入光隔離器。本發(fā)明利用雙折射晶體和法拉第旋光片分離探測光的入射光束和出射光束，并在入射光路上設(shè)置瞳面，對瞳面進行分割，提高探測器信噪比，該裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于工程實現(xiàn)。