一種多氣源氣體注射裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110165840.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113035674A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113035674A 申請公布日 2021-06-25
分類號 H01J37/26;H01J37/28 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 繆暉華 申請（專利權(quán)）人 上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢藍(lán)寶石專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 劉璐
地址 201700 上海市青浦區(qū)徐涇鎮(zhèn)雙浜路269、299號1幢1、3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種多氣源氣體注射裝置，其中，外殼內(nèi)沿多氣源氣體注射裝置的軸向設(shè)置有多個氣源安裝工位，氣源安裝工位用于安裝氣源發(fā)生模塊；外殼的一端與軸向驅(qū)動模塊連接，外殼的另一端與氣體注射模塊連接；氣體注射模塊延伸至外殼另一端的內(nèi)部與氣源發(fā)生模塊連接，軸向驅(qū)動模塊延伸至外殼一端的內(nèi)部與氣源發(fā)生模塊連接，用于驅(qū)動氣源發(fā)生模塊進(jìn)行軸向運(yùn)動。本發(fā)明提供的多氣源氣體注射裝置，多個氣源發(fā)生模塊沿多氣源氣體注射裝置的軸向安裝，形成軸向分布，占用空間小，在將多氣源氣體注射裝置安裝在帶電粒子束設(shè)備的腔體上時，有利于避免氣源發(fā)生模塊和其他部件干涉。