一種雙側(cè)斐索干涉儀檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110383929.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113203357A 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN113203357A 申請公布日 2021-08-03
分類號 G01B9/02（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 魏相宇;唐鋒;盧云君;郭福東;王向朝;陳夢來 申請（專利權(quán)）人 上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張寧展
地址 201800上海市嘉定區(qū)清河路390號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種雙側(cè)斐索干涉儀檢測裝置，包括光源模塊，第一干涉儀主機，第二干涉儀主機，第一標(biāo)準(zhǔn)鏡，第二標(biāo)準(zhǔn)鏡，被測非透明平面；所述的第一干涉儀主機、第二干涉儀主機均為斐索干涉儀。本發(fā)明將點光源位于準(zhǔn)直鏡的焦面但不在焦點上，從而使經(jīng)準(zhǔn)直鏡透射的出射光與干涉儀光軸具有夾角，通過與光闌配合，使對側(cè)干涉儀的出射光進入到本側(cè)干涉儀后，匯聚在光闌的遮光區(qū)，不影響本側(cè)干涉儀干涉圖的接收；或者使用光開關(guān)，使第一干涉儀主機、第二干涉儀主機單獨工作。本發(fā)明有效的提高了干涉圖的質(zhì)量，具有裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，測量精度高的優(yōu)點。