一種適用于寬膜厚范圍樣品的激光超聲測量系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110601198.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113281265A 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號 CN113281265A 申請公布日 2021-08-20
分類號 G01N21/17（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 閔菁;湯自榮;劉世元;陳修國;李仲禹;王中昱;胡靜;王則涵 申請（專利權(quán)）人 上海精測半導體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 華中科技大學專利中心 代理人 尚威;孔娜
地址 430074湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于激光超聲檢測相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，并具體公開了一種適用于寬膜厚范圍樣品的激光超聲測量系統(tǒng)及方法。該系統(tǒng)包括脈沖激光器、泵浦探測單元、脈寬調(diào)整器、探測器和工控機，其中：泵浦探測單元中的分束器將脈沖激光分為激發(fā)光光束和探測光光束；激發(fā)光經(jīng)過脈寬調(diào)整器照射在待測樣品表面并激發(fā)出超聲信號，在樣品中傳播產(chǎn)生回聲信號；與激發(fā)光存在延時的探測光自樣品反射后被探測器接收；工控機接收探測器轉(zhuǎn)換的電信號并提取回聲信號，當該回聲信號的強度小于預設(shè)閾值時，調(diào)整脈寬調(diào)整器為脈沖展寬狀態(tài)；當該回聲信號的強度大于或等于預設(shè)閾值時，保持脈寬調(diào)整器為壓縮狀態(tài)。通過本發(fā)明，增大激光超聲測量技術(shù)所適用的樣品的膜厚范圍。