一種探測(cè)反射光變化的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110240243.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113048894A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113048894A 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類(lèi)號(hào) G01B11/06 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王奇;李仲禹;王政 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢東喻專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙偉
地址 201702 上海市青浦區(qū)徐涇鎮(zhèn)雙浜路269、299號(hào)1幢1、3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種探測(cè)反射光變化的裝置及方法，利用第一光瞳分割器將入射光束進(jìn)行場(chǎng)強(qiáng)分割使得入射光束在第一光瞳分割器的第一表面形成第一場(chǎng)強(qiáng)分布；準(zhǔn)直匯聚具有第一場(chǎng)強(qiáng)分布的入射光束斜入射至物體表面以形成具有第二場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束；接收具有第二場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束并準(zhǔn)直以形成具有第三場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束；利用第二光瞳分割器的位置和形狀對(duì)具有第三場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束進(jìn)行場(chǎng)強(qiáng)分割，使得具有第三場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束在第二光瞳分割器的第一表面形成第四場(chǎng)強(qiáng)分布，第一光瞳分割器和第二光瞳分割器具有相同的孔徑函數(shù)分布；獲取具有第四場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束，解析時(shí)間間隔內(nèi)具有第四場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束變化信息，從而使得解析之后光強(qiáng)變化和成像位置偏差所形成的信號(hào)變化增強(qiáng)，提高探測(cè)器信噪比。