一種探測(cè)反射光變化的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110240241.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113091624A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113091624A 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) G01B11/06（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王奇;李仲禹;王政 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢東喻專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙偉
地址 201702上海市青浦區(qū)徐涇鎮(zhèn)雙浜路269、299號(hào)1幢1、3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種探測(cè)反射光變化的裝置及方法，通過(guò)透射具有第一偏振態(tài)的入射光束，并將具有第一偏振態(tài)的入射光束進(jìn)行場(chǎng)強(qiáng)分割形成第一場(chǎng)強(qiáng)分布，準(zhǔn)直匯聚具有第一偏振態(tài)和第一場(chǎng)強(qiáng)分布的入射光束照射至物體表面以形成具有第一偏振態(tài)和第二場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束；接收視場(chǎng)范圍內(nèi)具有第一偏振態(tài)和第二場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束并準(zhǔn)直以形成具有第一偏振態(tài)和第三場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束；將具有第一偏振態(tài)和第三場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束調(diào)整至第二偏振態(tài)后，將具有第二偏振態(tài)和第三場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束進(jìn)行場(chǎng)強(qiáng)分割以形成具有第二偏振態(tài)和第四場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束，解析時(shí)間間隔內(nèi)具有第二偏振態(tài)和第四場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束變化信息，在利用不同偏振態(tài)實(shí)現(xiàn)探測(cè)光的入射光束和出射光束的分離基礎(chǔ)上，解析時(shí)間間隔內(nèi)具有第四場(chǎng)強(qiáng)分布的反射光束變化信息，從而使得解析之后光強(qiáng)變化和成像位置偏差所形成的信號(hào)變化增強(qiáng)，提高探測(cè)器信噪比。