一種多量程集成的復(fù)合膜片式MEMS壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110560327.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113401861A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113401861A 申請公布日 2021-09-17
分類號 B81B7/02（2006.01）I;G01L1/18（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 胡宗達(dá);彭鵬;李奇思;劉璐;蘇曉曉 申請（專利權(quán)）人 成都凱天電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都君合集專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 尹新路
地址 610091四川省成都市青羊區(qū)黃田壩西貨站路515號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種多量程集成的復(fù)合膜片式MEMS壓力傳感器，通過在一個傳感器中集成化多個不同量程的模塊，實現(xiàn)了對不同量程、不同尺寸的物件的適應(yīng)性測量，同時提高了測量的一致性。