一種單晶爐
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202110124100.5 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113005508A | 公開(公告)日 | 2021-06-22 |
申請公布號 | CN113005508A | 申請公布日 | 2021-06-22 |
分類號 | C30B15/00;C30B29/06 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 侯穎;李世杰;趙京通 | 申請(專利權(quán))人 | 河北晶龍陽光設(shè)備有限公司 |
代理機構(gòu) | 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 徐穎聰 |
地址 | 055550 河北省邢臺市寧晉縣晶龍大街 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種單晶爐,包括:副室主體,所述副室主體內(nèi)形成有副腔室;上觀察窗,所述上觀察窗設(shè)置在所述副室主體上端前方,所述上觀察窗包括上觀察窗門,所述上觀察窗門的一側(cè)通過第一合頁轉(zhuǎn)動連接在所述副室主體上;氣動單晶托,所述氣動單晶托設(shè)置在所述副室主體下端側(cè)面用于承托硅棒;定位導(dǎo)向機構(gòu),所述定位導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)置在所述副室主體下端前側(cè),用于在所述單晶爐與旋閥進(jìn)行連接時頂端。根據(jù)本發(fā)明實施例的單晶爐,將上觀察窗采用合頁形式,維護(hù)方便,避免了零件掉落風(fēng)險,單晶托采用氣動控制,提高設(shè)備自動化程度,通過設(shè)置定位定向機構(gòu),確保導(dǎo)向的平穩(wěn)準(zhǔn)確性,提升了副室的安全性與自動化程度。 |
