一種快速連續(xù)制備大尺寸石墨烯薄膜的裝置及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210047668.2 申請日 -
公開（公告）號 CN102534766B 公開（公告）日 2016-03-09
申請公布號 CN102534766B 申請公布日 2016-03-09
分類號 C30B25/00(2006.01)I;C30B29/02(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李超;王振中 申請（專利權(quán)）人 無錫第六元素高科技發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 北京中恒高博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 無錫格菲電子薄膜科技有限公司;無錫第六元素電子薄膜科技有限公司
地址 214154 江蘇省無錫市惠山區(qū)惠山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)智慧路1號清華創(chuàng)新大廈A2OO5室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種快速連續(xù)制備大尺寸石墨烯薄膜的裝置，該裝置包括熱源、卷對卷和氣瓶，所述卷對卷帶動催化金屬薄層移動，并穿過密閉石英箱；分裝在氣瓶中的保護氣體、氫氣和碳源通過管路進入密閉石英箱；密閉石英箱與真空泵連接，以保持氣體的流動性和較低的氣壓；所述熱源為激光器，激光器發(fā)射出的激光束透過密閉石英箱照射在催化金屬薄層的表面對其進行逐行掃描加熱。本發(fā)明解決了在傳統(tǒng)管式爐中由于金屬薄層整體受熱造成高溫下金屬薄層受力變形甚至拉斷的問題。將該裝置應(yīng)用于制備大尺寸石墨烯薄膜時，可實現(xiàn)大尺寸石墨烯薄膜均勻、快速、連續(xù)的生長，也可以對石墨烯薄膜生長區(qū)域進行更為精確的控制。