一種基于化學(xué)氣相沉積的高溫原子透析制備石墨烯的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110154588.2 申請日 -
公開（公告）號 CN102275907B 公開（公告）日 2013-10-02
申請公布號 CN102275907B 申請公布日 2013-10-02
分類號 C01B31/04(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 瞿研 申請（專利權(quán)）人 無錫第六元素高科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中恒高博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 無錫格菲電子薄膜科技有限公司;無錫第六元素電子薄膜科技有限公司
地址 214154 江蘇省無錫市惠山區(qū)惠山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)智慧路1號清華創(chuàng)新大廈A2005室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于化學(xué)氣相沉積的高溫原子透析制備石墨烯的方法，涉及一種石墨烯材料的制備方法。步驟是，將荷包狀銅箔置于真空管式爐或者真空氣氛爐中，在除去真空腔內(nèi)氧氣的情況下，將氫氣注入真空腔中，并升溫至800-1100攝氏度，再將碳源氣體注入真空腔中，即得沉積石墨烯的荷包狀銅箔。本發(fā)明基于化學(xué)氣相沉積法，在封閉的荷包狀金屬襯底（例如銅箔）外表面上高溫裂解甲烷或其他碳?xì)錃怏w，所沉積的碳原子在高溫下透析到金屬襯底內(nèi)表面，在內(nèi)表面形成石墨烯薄膜。該方法石墨烯的形成速度較慢，所形成的石墨烯晶粒較大，從而提供一種制備超大晶粒石墨烯薄膜的方法。