一種半導(dǎo)體整流器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610148745.1 申請日 -
公開（公告）號 CN105742338B 公開（公告）日 2018-09-28
申請公布號 CN105742338B 申請公布日 2018-09-28
分類號 H01L29/06;H01L29/66;H01L29/861;H01L21/329 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉偉 申請（專利權(quán)）人 杭州立昂微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 尉偉敏;胡寅旭
地址 310018 浙江省杭州市下沙經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)20號大街199號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體整流器，包括第一導(dǎo)電類型輕摻雜的外延層，外延層上部橫向間隔設(shè)置有若干第一溝槽，第一溝槽內(nèi)填充有導(dǎo)電多晶硅，導(dǎo)電多晶硅與第一溝槽之間設(shè)有隔離層，隔離層向上凸出形成介質(zhì)墻壁，介質(zhì)墻壁的兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)電多晶硅側(cè)墻，外延層上部與導(dǎo)電多晶硅側(cè)墻之間的區(qū)域形成第二溝槽，外延層上部設(shè)有橫向均勻摻雜區(qū)和梯度摻雜區(qū)，梯度摻雜區(qū)與隔離層接觸形成溝道，外延層下部、橫向均勻摻雜區(qū)、梯度摻雜區(qū)及隔離層之間設(shè)有間隔區(qū)。本發(fā)明采用溝槽柵結(jié)構(gòu)，同時(shí)具有短溝道和溝道摻雜梯度分布，具有更佳的正向?qū)ㄌ匦浴１景l(fā)明還公開了一種半導(dǎo)體整流器制造方法，工藝步驟簡單，工藝窗口大，易于控制，光刻次數(shù)少，制造成本低。