一種半導(dǎo)體元件蝕刻液及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201510876027.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN105513955B | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-01-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105513955B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-01-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/306 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 鄭春秋 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 盛凡知識(shí)產(chǎn)權(quán)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京匯智勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 蘇州鑫德杰電子有限公司;江蘇守航實(shí)業(yè)有限公司 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市吳中區(qū)木瀆鎮(zhèn)珠江南路999號(hào)3幢B228室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體元件蝕刻液及其制備方法。蝕刻液組分包括：碘、碘化鈉、碘化銨、羧甲基殼聚糖、季戊四醇、山梨醇、銨鹽、正丁醇、乙醇、維生素C、BHT、山梨酸鉀、水。其制備方法為先將碘、季戊四醇、山梨醇、BHT、正丁醇和乙醇混合攪拌5?10分鐘，得溶液A；將碘化鈉、碘化銨、羧甲基殼聚糖、銨鹽、維生素、山梨酸鉀和水混合攪拌5?10分鐘得溶液B；將溶液A和B混合，加熱至30?40℃，攪拌20?30分鐘即得。本發(fā)明的蝕刻液蝕刻速度快，精度高，蝕刻均勻性強(qiáng)；且制備方法簡(jiǎn)單，易控制，易于工業(yè)化生產(chǎn)，生產(chǎn)成本低。 |
