一種高速低損耗的多槽柵高壓功率器件
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910805724.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110504308B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110504308B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L29/739(2006.01)I;H01L29/08(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 魏杰;黃俊岳;馬臻;王晨霞;魯娟;郗路凡;宋旭;羅小蓉;楊永輝;朱坤峰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 重慶中科渝芯電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都點(diǎn)睛專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 孫一峰 |
| 地址 | 611731四川省成都市高新西區(qū)西源大道2006號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于功率半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高速低損耗的多槽柵高壓功率器件。相對(duì)與傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)，本發(fā)明在發(fā)射極端與集電極端均引入多個(gè)槽柵結(jié)構(gòu)。正向?qū)〞r(shí)，集電極端槽柵側(cè)壁溝道關(guān)斷，N+集電區(qū)與N型緩沖層連通路徑被阻斷，因而可消除電壓折回效應(yīng)。發(fā)射極端槽柵結(jié)構(gòu)不僅增加溝道密度以降低溝道區(qū)電阻，而且阻擋槽柵和載流子存儲(chǔ)層可有效提高漂移區(qū)載流子濃度，因此新器件可獲得更低的正向?qū)▔航?。關(guān)斷過(guò)程中，隨著集電極電壓升高，集電極端槽柵側(cè)壁溝道開(kāi)啟，使N+集電區(qū)與N型緩沖層連通而形成電子快速抽取路徑，加速器件關(guān)斷以降低關(guān)斷損耗。因此，本發(fā)明具有更小的正向?qū)▔航岛完P(guān)斷損耗，而且沒(méi)有電壓折回效應(yīng)。?? |
