一種用于PECVD腔室的絕緣螺栓

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021929756.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213176386U 公開（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN213176386U 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) F16B35/02;F16B33/00 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 林錦山;謝志剛;王樹林;廖培燦 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建鈞石能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)南環(huán)路高新技術(shù)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于PECVD腔室的絕緣螺栓，包括螺栓主體和絕緣螺帽，所述螺栓主體的頭部端面中心鉆設(shè)帶有內(nèi)螺紋的螺孔，所述絕緣螺帽一體成型帶有外螺紋的鎖緊螺桿，所述鎖緊螺桿的外螺紋與螺孔的內(nèi)螺紋相適配，所述絕緣螺帽通過鎖緊螺桿與螺孔嵌入在螺栓主體上面。本實(shí)用新型不僅具有普通螺栓堅(jiān)固，可支撐石英零件等特點(diǎn)，且在螺栓主體上設(shè)有絕緣螺帽，避免了PECVD啟輝過程，裸露的螺栓成為局部的電極輝光點(diǎn)，分散了等離子鍍膜區(qū)域，絕緣螺帽保護(hù)螺栓主體避免其在高溫下熔融變形，又不會(huì)在真空腔室內(nèi)參與氣體反應(yīng)，污染腔室，使得PECVD設(shè)備在高功率、高氣壓的條件下能穩(wěn)定輝光鍍膜，保證鍍膜質(zhì)量，具有較強(qiáng)的實(shí)用性。