一種異質(zhì)結(jié)電池的電極制備及熱處理方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711129200.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109786478A 公開(kāi)（公告）日 2019-05-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN109786478A 申請(qǐng)公布日 2019-05-21
分類(lèi)號(hào) H01L31/0224（2006.01）I; H01L31/0747（2012.01）I; H01L31/18（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 張杰; 宋廣華 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 福建鈞石能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)南環(huán)路江南高新科技園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種異質(zhì)結(jié)電池的電極制備及熱處理方法，其所述方法包括：在硅片上沉積非晶硅薄膜；在非晶硅薄膜上沉積透明導(dǎo)電膜層；在透明導(dǎo)電膜表面沉積金屬種子層；在種子層表面覆蓋保護(hù)膜；然后在保護(hù)膜上形成金屬柵線(xiàn)的圖形；在金屬柵線(xiàn)圖形上進(jìn)行電鍍，增加金屬柵線(xiàn)的厚度；刻蝕掉多余的保護(hù)膜及種子層，形成金屬電極；對(duì)金屬電極進(jìn)行熱處理以釋放內(nèi)應(yīng)力，所述熱處理為在空氣氛圍中對(duì)金屬電極進(jìn)行退火處理，其處理溫度160?180℃，時(shí)間為60?100秒。本發(fā)明通過(guò)解決電鍍銅線(xiàn)的應(yīng)力問(wèn)題，提升了電極與其界面的結(jié)合力，提高了太陽(yáng)能電池的性能。