一種PVD新型冷卻遮板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021499912.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213172544U 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN213172544U 申請公布日 2021-05-11
分類號 C23C14/34;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/52 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張延任;張建德;劉義軍;徐爾強 申請（專利權(quán)）人 福建鈞石能源有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)南環(huán)路高新技術(shù)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種PVD新型冷卻遮板，包括上層遮板和下層冷卻板，所述上層遮板和下層冷卻板為雙層分離式結(jié)構(gòu)，所述上層遮板可拆卸設(shè)置在下層冷卻板上，所述下層冷卻板設(shè)有供導(dǎo)熱媒介全面直接接觸上層遮板的循環(huán)流道。本實用新型克服目前傳統(tǒng)遮板無法達到的彈性溫度控制，冷卻遮板容易因高溫變形無法實現(xiàn)于高溫環(huán)境下，且可快速拆卸替換，可以突破現(xiàn)行真空濺鍍對鍍膜溫度的限制，并得以有效的得到準(zhǔn)確控制，并更容易快速得更換下來，滿足現(xiàn)有設(shè)備在真空環(huán)境溫度控制的問題，以因應(yīng)未來真空鍍膜設(shè)備面對未來市場多樣產(chǎn)品需求。