一種PVD新型冷卻遮板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021499912.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213172544U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN213172544U 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) C23C14/34;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/52 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張延任;張建德;劉義軍;徐爾強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建鈞石能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)南環(huán)路高新技術(shù)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種PVD新型冷卻遮板，包括上層遮板和下層冷卻板，所述上層遮板和下層冷卻板為雙層分離式結(jié)構(gòu)，所述上層遮板可拆卸設(shè)置在下層冷卻板上，所述下層冷卻板設(shè)有供導(dǎo)熱媒介全面直接接觸上層遮板的循環(huán)流道。本實(shí)用新型克服目前傳統(tǒng)遮板無(wú)法達(dá)到的彈性溫度控制，冷卻遮板容易因高溫變形無(wú)法實(shí)現(xiàn)于高溫環(huán)境下，且可快速拆卸替換，可以突破現(xiàn)行真空濺鍍對(duì)鍍膜溫度的限制，并得以有效的得到準(zhǔn)確控制，并更容易快速得更換下來(lái)，滿足現(xiàn)有設(shè)備在真空環(huán)境溫度控制的問(wèn)題，以因應(yīng)未來(lái)真空鍍膜設(shè)備面對(duì)未來(lái)市場(chǎng)多樣產(chǎn)品需求。