一種PVD雙面鍍膜載板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021487499.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213895984U 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN213895984U 申請公布日 2021-08-06
分類號 C23C14/50（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張建德;張延任;劉義軍;徐爾強 申請（專利權(quán)）人 福建鈞石能源有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 362000福建省泉州市鯉城區(qū)南環(huán)路高新技術(shù)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種新型PVD雙面鍍膜載板，包括框架和子載板，所述子載板固定在框架上，所述框架上設(shè)有用來裝螺母的螺紋孔，所述子載板具有四邊支撐凸臺，支撐邊緣位置采用階梯斜邊式設(shè)計。本實用新型應(yīng)用于高速連續(xù)物理氣相沉積設(shè)備，可以保證產(chǎn)能優(yōu)勢，達(dá)到雙面高速連續(xù)鍍膜效果，傳動運行高效穩(wěn)定，且有效地降低了PVD生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的電池片破片、掉片及崩邊等不良率；可以解決雙面鍍膜邊際效應(yīng)，解決鍍膜色差問題；可以解決雙面鍍膜邊緣繞鍍現(xiàn)象，提升暗電流良率，對電池片綜合良率改善明顯；可以解決保養(yǎng)易腐蝕問題，提高載板使用可靠性。