一種微機電系統(tǒng)三軸加速度傳感器芯片和制作方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | 2020112191151 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112255432A | 公開（公告）日 | 2021-01-22 |
| 申請公布號 | CN112255432A | 申請公布日 | 2021-01-22 |
| 分類號 | G01P15/18(2013.01)I; | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 華亞平;蘇佳樂 | 申請（專利權(quán)）人 | 安徽芯動聯(lián)科微系統(tǒng)股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京億騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 陳霽 |
| 地址 | 233042安徽省蚌埠市財院路10號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請?zhí)峁┮环N微機電系統(tǒng)三軸加速度傳感器芯片和制作方法，其中芯片包括：第一軸加速度傳感器單元，用于感應第一軸方向的加速度；第二軸加速度傳感器單元感應，用于第二軸方向的加速度；和第三軸加速度傳感器單元，用于感應第三軸方向的加速度；第一軸加速度傳感器單元和第二軸加速度傳感器單元層疊布置；第三軸加速度傳感器單元包括第四加速度傳感器子單元和第五加速度傳感器子單元，第四加速度傳感器子單元設置于第一軸加速度傳感器單元的一側(cè)，第五加速度傳感器子單元設置于第二軸加速度傳感器單元的一側(cè)，第四加速度傳感器子單元與第五加速度傳感器子單元為不對稱結(jié)構(gòu)。第一、第二和第三軸加速度傳感器單元密封在同一個密封腔內(nèi)。?? |
