三軸微型傳感器高低溫測(cè)試裝置及其測(cè)試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910365481.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN110044383A 公開(kāi)(公告)日 2019-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN110044383A 申請(qǐng)公布日 2019-07-23
分類(lèi)號(hào) G01C25/00 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 華亞平 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 安徽芯動(dòng)聯(lián)科微系統(tǒng)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蚌埠鼎力專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 安徽北方芯動(dòng)聯(lián)科微系統(tǒng)技術(shù)有限公司
地址 233042 安徽省蚌埠市財(cái)院路10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 三軸微型傳感器高低溫測(cè)試裝置,包括溫箱、主轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)、副轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)和測(cè)試板;主轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)包括主馬達(dá)、主轉(zhuǎn)軸和配重;副轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)包括副馬達(dá)、底盤(pán)和三個(gè)定向柱,主馬達(dá)驅(qū)動(dòng)副轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)、測(cè)試板及待測(cè)樣品旋轉(zhuǎn),為待測(cè)樣品提供旋轉(zhuǎn)激勵(lì)信號(hào);副馬達(dá)驅(qū)動(dòng)三個(gè)定向柱沿主轉(zhuǎn)軸斜面旋轉(zhuǎn)0°、+120°、?120°,測(cè)試板和副轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)位于溫箱內(nèi),可以測(cè)試待測(cè)樣品在不同溫度下的性能。本裝置只需一個(gè)主馬達(dá)和一個(gè)副馬達(dá),就可驅(qū)動(dòng)測(cè)試板,對(duì)待測(cè)樣品施加X(jué)、Y、Z三個(gè)軸向的激勵(lì)信號(hào),具有體積小,控制簡(jiǎn)單,造價(jià)低,產(chǎn)能高等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明還涉及三軸微型傳感器的高低溫測(cè)試方法,該方法操作簡(jiǎn)單,同時(shí)測(cè)試三個(gè)軸向的信號(hào),一次可以測(cè)試多個(gè)樣品,產(chǎn)能高。