一種氮化鋁的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110348481.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102412123B 公開(kāi)（公告）日 2013-06-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN102412123B 申請(qǐng)公布日 2013-06-19
分類(lèi)號(hào) H01L21/203(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 范亞軍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 中山市格蘭特實(shí)業(yè)有限公司火炬分公司
代理機(jī)構(gòu) 中山市科創(chuàng)專(zhuān)利代理有限公司 代理人 謝自安
地址 528400 廣東省中山市火炬開(kāi)發(fā)區(qū)火炬大道13號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種氮化鋁的制備方法，其特征在于包括如下步驟：a)襯底清洗；b)襯底除氣；c)襯底氮化；d)氮化鋁成核層生長(zhǎng)；e)氮化鋁外延層生長(zhǎng)。本發(fā)明目的是克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種工藝簡(jiǎn)單，污染少，環(huán)保節(jié)能，成本低的氮化鋁的制備方法。