一種多晶硅生產(chǎn)工藝中氫氣純化用吸附塔

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021561147.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN213314182U 公開(kāi)(公告)日 2021-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN213314182U 申請(qǐng)公布日 2021-06-01
分類號(hào) C01B3/56(2006.01)I;B01J20/34(2006.01)I;B01D53/04(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 楊楠;李壽琴;賈琳蔚;陳紹林 申請(qǐng)(專利權(quán))人 云南通威高純晶硅有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 趙麗
地址 678100云南省保山市工貿(mào)園區(qū)昌寧園中園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅生產(chǎn)工藝中氫氣純化用吸附塔,屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,包括吸附塔主體,吸附塔主體上方設(shè)置有第一氣體進(jìn)出口,吸附塔主體下方設(shè)置有第二進(jìn)出氣口,吸附塔主體豎直方向設(shè)置有多個(gè)加熱管,加熱管為下端封口的中空管,加熱管內(nèi)設(shè)置有絕緣導(dǎo)熱層和電加熱絲,吸附塔主體內(nèi)填充有活性炭。本實(shí)用新型具有再生性能好、熱量利用率高、產(chǎn)品純度高和運(yùn)營(yíng)成本低等優(yōu)點(diǎn)。??