用于多晶硅生產(chǎn)中還原爐的抽吸式噴嘴

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021948624.3 申請日 -
公開(公告)號 CN213326755U 公開(公告)日 2021-06-01
申請公布號 CN213326755U 申請公布日 2021-06-01
分類號 C01B33/035(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 賈琳蔚;朱彬;陳彬;楊楠;陳紹林;李壽琴;劉逸楓;甘居富 申請(專利權(quán))人 云南通威高純晶硅有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 向丹
地址 678100云南省保山市工貿(mào)園區(qū)昌寧園中園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于多晶硅生產(chǎn)中還原爐的抽吸式噴嘴,屬于多晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。包括噴嘴芯體和噴嘴殼體,噴嘴芯體內(nèi)形成第一進(jìn)氣腔和收縮口;噴嘴殼體下部套設(shè)在噴嘴芯體外側(cè),噴嘴殼體頂端形成噴口,噴嘴殼體內(nèi)形成第二進(jìn)氣腔;噴嘴殼體上設(shè)置用于外源氣進(jìn)入的開口,開口與第二進(jìn)氣腔連通。噴嘴噴射時,第二進(jìn)氣腔內(nèi)形成低壓區(qū),第二進(jìn)氣腔外的外源氣會被吸入;在第二進(jìn)氣腔中,外源氣與原料氣混合,兩者共同從頂部噴口噴射,頂部噴口噴射的氣體流量大于噴嘴底部的進(jìn)氣流量,使得噴嘴出氣噴射更高,有效提高爐內(nèi)各組分分布的均勻性,進(jìn)而減少硅棒上疏松、珊瑚狀等非致密沉積,提高硅棒產(chǎn)品質(zhì)量,降低電耗。??