一種多晶硅生產工藝中氫氣純化裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021559331.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213314181U | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請公布號 | CN213314181U | 申請公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號 | C01B3/56（2006.01）I;B01J20/34（2006.01）I;B01D53/04（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 楊楠;李壽琴;賈琳蔚;陳紹林 | 申請（專利權）人 | 云南通威高純晶硅有限公司 |
| 代理機構 | 成都天嘉專利事務所（普通合伙） | 代理人 | 趙麗 |
| 地址 | 678100云南省保山市工貿園區(qū)昌寧園中園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種多晶硅生產工藝中氫氣純化裝置，屬于多晶硅生產技術領域，包括4個吸附塔，吸附塔下方設置有第一進出氣口，第一進出氣口分別與原料進管、第一循環(huán)管線、熱氫出管和第二循環(huán)管線相連，第一循環(huán)管線與第二循環(huán)管線的連接處設置有冷卻器，吸附塔上方設置有第二氣體進出口，第二氣體進出口分別與熱氫進管、產品出管和第三循環(huán)管線相連。本實用新型具有再生性能好、熱量利用率高、產品純度高和運營成本低等優(yōu)點。?? |
