一種菱形硅芯的卡件
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202021941348.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN213326754U | 公開(公告)日 | 2021-06-01 |
申請公布號 | CN213326754U | 申請公布日 | 2021-06-01 |
分類號 | C01B33/035(2006.01)I | 分類 | 無機化學(xué); |
發(fā)明人 | 楊楠;李壽琴;賈琳蔚;陳紹林 | 申請(專利權(quán))人 | 云南通威高純晶硅有限公司 |
代理機構(gòu) | 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 趙麗 |
地址 | 678100云南省保山市昌寧園中園 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開了一種菱形硅芯的卡件,屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,包括底座、尖嘴和固定環(huán),所述底座下端底部開設(shè)有凹孔,所述尖嘴放置在底座上,所述固定環(huán)套設(shè)在底座和尖嘴的外側(cè),固定環(huán)套用于固定底座和尖嘴,所述固定環(huán)包括上套環(huán),所述上套環(huán)與尖嘴緊密配合,所述尖嘴中部開設(shè)有用于固定菱形硅芯的通孔,解決了現(xiàn)有技術(shù)中硅芯卡件不能與菱形硅芯緊密配合,達不到穩(wěn)定固定菱形硅芯的目的;且卡件結(jié)構(gòu)復(fù)雜,制造卡件工藝繁雜,導(dǎo)致成本高;以及晶體硅的沉積效率低,產(chǎn)品收率低的問題。?? |
