一種太陽能光伏電池低壓水平磷擴(kuò)散生產(chǎn)線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111419221.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114203856A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114203856A 申請公布日 2022-03-18
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林佳繼;龐愛鎖;朱太榮 申請（專利權(quán)）人 拉普拉斯新能源科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州天昊專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 董世博
地址 518118廣東省深圳市坪山區(qū)坑梓街道吉康路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽能光伏電池低壓水平磷擴(kuò)散生產(chǎn)線,包括N型單晶硅片、制絨設(shè)備、低壓水平熱處理系統(tǒng)、激光SE設(shè)備、低壓水平氧化系統(tǒng)、堿拋和刻蝕設(shè)備、PECVD設(shè)備、絲網(wǎng)印刷設(shè)備和電注入設(shè)備，制絨設(shè)備用于N型單晶硅片的制絨工序，低壓水平熱處理系統(tǒng)用于N型單晶硅片的硼擴(kuò)散、磷擴(kuò)散和退火工序，本發(fā)明提供一種太陽能光伏電池低壓水平磷擴(kuò)散生產(chǎn)線，對N型單晶硅片依次進(jìn)行制絨、硼擴(kuò)散、激光SE、氧化、堿拋光、LPCVD、磷擴(kuò)散、激光SE、氧化、刻蝕、退火、PECVD、絲網(wǎng)印刷和電注入，通過增加低壓水平熱處理系統(tǒng)和堿拋刻蝕設(shè)備極大的適配并利用現(xiàn)有的PERC?SE生產(chǎn)線，生產(chǎn)線設(shè)備幾乎無浪費(fèi)，延長了PERC生產(chǎn)線生命周期。