一種摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010976775.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112176302B 公開（公告）日 2022-07-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN112176302B 申請(qǐng)公布日 2022-07-19
分類號(hào) C23C14/35（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王國(guó)偉;黃鵬;樊鵬飛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州方林科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州卓博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 215151江蘇省蘇州市高新區(qū)鴻禧路136
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層及其制備方法，包含鎳鍍層、鎳金梯度鍍層和純金鍍層，鎳金梯度鍍層在鎳鍍層和純金鍍層中間，鎳金梯度鍍層摻雜有鑭、鈰、鉺、釔中的至少一種稀土元素。鎳金梯度鍍層摻雜的稀土元素所占質(zhì)量比為0.02％～0.2％。本發(fā)明的摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層利用磁控濺射鍍膜技術(shù)制備，通過該方法制備的摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層可以改善鍍層的致密度、覆蓋性，提高金鍍層和銅基材的結(jié)合能力，改善產(chǎn)品的導(dǎo)電性能和焊接性能，同時(shí)又降低了貴金屬的使用量，該方法制備的產(chǎn)品成本低廉，節(jié)能環(huán)保，非常適用于微納米電子工業(yè)。