一種實現(xiàn)在線電阻率調(diào)試的單晶爐及其控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510145395.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104695009B 公開（公告）日 2017-04-19
申請公布號 CN104695009B 申請公布日 2017-04-19
分類號 C30B15/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 高文秀;趙百通;李帥 申請（專利權(quán)）人 江蘇盎華光伏工程技術(shù)研究中心有限公司
代理機構(gòu) 上?？坡蓪＠硎聞?wù)所（特殊普通合伙） 代理人 金碎平
地址 214213 江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟開發(fā)區(qū)文莊路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種實現(xiàn)在線電阻率調(diào)試的單晶爐及其控制方法，所述單晶爐包括頂部的副腔室與底部的加熱腔室，所述副腔室與加熱腔室之間設(shè)有活動隔板，所述副腔室的側(cè)壁安裝有伸縮桿和加料腔室，所述伸縮桿為硬質(zhì)空心桿，所述硬質(zhì)空心桿的桿頭上安裝有電阻率測試探頭，所述電阻率測試探頭的連接導(dǎo)線處于硬質(zhì)空心桿中；所述加料腔室?guī)в袃?nèi)外密封蓋板并連接有惰性氣體管路。本發(fā)明通過設(shè)置活動隔板割離副腔室與加熱腔室，并在副腔室側(cè)壁安裝帶探頭的伸縮桿和可獨立封閉的加料腔室，從而可方便及時地根據(jù)需要隨時在硅熔液中加入不同摻雜劑，對電阻率進行在線調(diào)節(jié)，大大提高拉制單晶硅棒的質(zhì)量。