一種應(yīng)用于基板承載臺(tái)的可調(diào)位姿清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111509815.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114192454A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114192454A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 楊兆明;川嶋勇;張峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張英英
地址 314499浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)隆興路118號(hào)內(nèi)主辦公樓3樓370室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種應(yīng)用于基板承載臺(tái)的可調(diào)位姿清洗裝置，包括架設(shè)于基板承載臺(tái)表面上方的安裝支架、連接于所述安裝支架底面的若干個(gè)球面副機(jī)構(gòu)、插設(shè)于各所述球面副機(jī)構(gòu)中并與其同步球面運(yùn)動(dòng)的若干根芯軸、連接于各根所述芯軸末端的固定支架、設(shè)置于各所述固定支架底面并朝向基板承載臺(tái)延伸的若干個(gè)刮板。如此，當(dāng)球面副機(jī)構(gòu)產(chǎn)生球面運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)芯軸帶動(dòng)刮板產(chǎn)生同步球面運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而改變刮板的位姿，從而在基板承載臺(tái)的位姿產(chǎn)生變化時(shí)，通過(guò)各個(gè)刮板的位姿變化即可跟隨基板承載臺(tái)的位姿變化而對(duì)應(yīng)調(diào)整，進(jìn)而使刮板能夠始終貼合基板承載臺(tái)的表面，因此能夠適應(yīng)不同位姿的基板承載臺(tái)，實(shí)現(xiàn)對(duì)承載面的穩(wěn)定貼合，保證清洗效果，并穩(wěn)定解決Dimple現(xiàn)象。