一種晶圓測試機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122300767.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215680651U 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN215680651U 申請公布日 2022-01-28
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊兆明;曾春耕;張鯤 申請（專利權(quán)）人 浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 代理人 蔡鼎
地址 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)隆興路118號內(nèi)主辦公樓3樓370室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種晶圓測試機(jī)，屬于晶圓測試技術(shù)領(lǐng)域，它解決了現(xiàn)有的測試裝置不能夠自動對晶圓進(jìn)行固定的問題。本晶圓測試機(jī)，包括箱體，箱體內(nèi)壁的底部固定有底座，底座的頂部固定有壓力傳感器，壓力傳感器的頂部固定有放置臺，放置臺頂部的左右兩側(cè)均設(shè)置有固定板，且固定板與放置臺之間滑動連接，放置臺內(nèi)壁的底部固定有電動伸縮桿。本實(shí)用新型通過電動伸縮桿、伸縮桿和固定板的設(shè)置，能夠?qū)Υ龣z測的晶圓進(jìn)行自動固定，節(jié)約了工作人員上料下料時的時間，提高了檢測效率，以便對晶圓的強(qiáng)度進(jìn)行檢測，防止晶圓在檢測過程中出現(xiàn)移動，從而影響了檢測數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，給工作人員提供了便利。