一種用于晶圓加工的新型拋光機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111142744.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113814854A 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN113814854A 申請公布日 2021-12-21
分類號 B24B27/00（2006.01）I;B24B55/02（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B49/00（2012.01）I;B24B55/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 楊兆明;李曉峰;張峰 申請（專利權(quán)）人 浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 代理人 蔡鼎
地址 314400浙江省嘉興市海寧市漕河涇路17號3號樓2207室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種用于晶圓加工的新型拋光機，屬于晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，它解決了現(xiàn)有拋光機拋光效率低等技術(shù)問題。本發(fā)明包括底座，底座上端設(shè)有安裝平臺，安裝平臺內(nèi)部設(shè)有凸輪分割器，凸輪分割器的輸出軸上固定有轉(zhuǎn)動平臺，安裝平臺上設(shè)有第一工位至第五工位，第一工位至第五工位與底座之間均設(shè)有拋光筒，拋光筒內(nèi)部轉(zhuǎn)動設(shè)有不同規(guī)格的拋光盤，第四工位的拋光盤上設(shè)有磨邊機構(gòu)，第一工位至第五工位上均設(shè)有滴液器，轉(zhuǎn)動平臺上端中部設(shè)有氣泵，轉(zhuǎn)動平臺上端設(shè)有五個圓周均布的調(diào)節(jié)吸盤機構(gòu)，安裝平臺上設(shè)有進料檢測履帶機構(gòu)和出料檢測履帶機構(gòu)。本發(fā)明可對晶圓進行多方向相對位移的拋光，可對邊緣進行拋光，自動化程度高，拋光精度高。